З яких компонентів складається вакуумна система?

Вакуумна система - це повне промислове обладнання, що складається з вакуумного насоса, системи програмного керування PLC, резервуара для зберігання газу, вакуумного трубопроводу та інших компонентів. Він широко використовується в таких галузях, як електронні напівпровідники, оптоелектронні модулі підсвічування, механічна обробка, упаковка продуктів харчування та медичні лабораторії для підтримки стабільного вакуумного середовища для підтримки точних виробничих процесів.

 

Система має модульну конструкцію, яка включає контроль швидкості насоса, фільтрацію на вході, відображення робочих даних та інтерфейс дистанційного керування. Під час -монтажу на місці для роботи потрібні лише джерело живлення та з’єднання труб. Повністю автоматизоване керування здійснюється за допомогою системи керування ПЛК та інтерфейсу людина-машина з сенсорним екраном. Він може автоматично перемикатися між основною та резервною групами насосів (такими як гвинтові насоси та насоси Рутса), щоб забезпечити стабільний рівень вакууму. Він оснащений автоматичним відключенням у разі збою живлення, перевантаження двигуна та захисту від короткого-замикання, а також підтримує систему відновлення водню для підвищення безпеки та енергоефективності.

 

У напівпровідниковій промисловості вакуумні системи забезпечують-запечатаний шлях променя для EUV-літографії, забезпечуючи стабільне пропускання джерела ультрафіолетового світла. Вони також використовуються в критичних процесах, таких як нанесення покриттів PECVD, вакуумне сухе травлення та іонна імплантація, які вимагають вимог до накачування в діапазоні від чистих до суворих умов експлуатації та стандартів із ультра-низьким вмістом твердих частинок. Крім того, система також може забезпечувати комплексні--вакуумні рішення для виробництва фотоелектричних елементів, консервування їжі, медичного обладнання та інших застосувань.